对于特殊材质的靶材，需要绑定后再进行溅射，溅射靶材与其背板之间的热和机械完整性对于最佳性能至关重要。要实现这一目标，必须考虑靶材和背板的物理性质并且选择正确的粘接工艺。我们提供了焊料绑定、扩散绑定和导电胶等工艺可供选择。
