产品亮点
PRODUCT HIGHLIGHTS
平面显示是高纯溅射靶材应用的主要领域,靶材主要在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节使用。其中,平板显示面板的生产工艺中,玻璃基板要经过多次溅射镀膜形成ITO玻璃,然后再经过镀膜,加工组装用于生产LCD面板、PDP面板及OLED面板等。触控屏的生产,则还需要将ITO玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极,再与防护屏等部件组装加工而成。此外,为了实现平板产品的抗反射、消影等功能,还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜工艺。
适用材料
APPLICABLE MATERIALS
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硅靶 | 氧化铌靶 | 氧化铟锡靶 | 钼靶 | 铬靶 | 银靶 |
Si | NbOx | ITO | Mo | Cr | Ag |